國儀量子xCTI華測檢測合肥FA實(shí)驗(yàn)室：正式投用SEM-4000X，微納分析能力再上新臺(tái)階！

更新時(shí)間：2026-03-17 點(diǎn)擊次數(shù)：176

*本文轉(zhuǎn)載自：CTI華測半導(dǎo)體測試與分析服務(wù)公眾號(hào)

繼CTI華測檢測半導(dǎo)體檢測及分析中心合肥FA實(shí)驗(yàn)室完成場地?cái)U(kuò)容、硬件煥新后，我們又迎來關(guān)鍵一步：國儀量子SEM-4000X場發(fā)射掃描電子顯微鏡已于2026年3月正式導(dǎo)入運(yùn)營，中部地區(qū)半導(dǎo)體微納分析能力再上新臺(tái)階！

此前，實(shí)驗(yàn)室已通過場地科學(xué)布局與硬件擴(kuò)容，實(shí)現(xiàn)化性實(shí)驗(yàn)、切片實(shí)驗(yàn)兩大核心環(huán)節(jié)產(chǎn)能提升超50%。如今SEM-4000X投用，讓實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)從“效率提升"到“精度升級(jí)"的關(guān)鍵跨越。

高清成像，精準(zhǔn)捕捉微納細(xì)節(jié)

專為半導(dǎo)體失效分析與材料表征設(shè)計(jì)，低電壓模式下可清晰捕捉芯片微納結(jié)構(gòu)，有效減少荷電效應(yīng)和輻照損傷，讓缺陷與界面信息無所遁形。

大樣兼容，適配多元分析需求

配備快速換樣倉，可支持4寸晶圓（直徑100mm），滿足客戶對(duì)更大尺寸樣品的分析需求，適配晶圓、元器件等多樣品形態(tài)檢測。

SEM-4000X核心參數(shù)

分辨率：0.9nm@30KV(SE)，1.0nm@15KV(SE)，1.8nm@1KV(SE）
加速電壓：200V-30KV
放大倍率：1～1,000,000X
樣品臺(tái)行程：X=110mm，Y=110mm，Z=50mm，支持-10°～+70°傾斜
電子槍類型：肖特基場發(fā)射電子槍，確保長期穩(wěn)定性

實(shí)驗(yàn)室已完成“效率+精度"雙重升級(jí)，將以更高效的制樣流程、更精準(zhǔn)的微納分析能力，為半導(dǎo)體、新能源、先進(jìn)制造等行業(yè)提供可靠檢測支撐。

未來，CTI華測檢測半導(dǎo)體檢測及分析中心合肥FA實(shí)驗(yàn)室將持續(xù)深耕技術(shù)、優(yōu)化服務(wù)，以硬核實(shí)力助力客戶定位問題、優(yōu)化產(chǎn)品性能，攜手行業(yè)伙伴探索半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)更多可能。

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